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產(chǎn)品中心

Product Center

粉末坩堝蒸鍍儀

產(chǎn)品簡介

粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實驗室用戶群體設計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)、金屬粉末等。配有樣品擋板,可手動或自動開/關擋板,達到及時遮擋樣品效果;觸摸屏控制,操作簡單,更有工藝儲存等功能。

產(chǎn)品型號:KT-Z1650CVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1299
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域化工,電子

粉末坩堝蒸鍍

鉻是受歡迎的金屬之一。鉻是一種銀色,有光澤,堅硬,含雜質(zhì)的鉻硬而脆,具有很高的耐腐蝕性。它的熔點為1857℃,密度為7.2g / cm3,。它的名字來自希臘語“chroma",意思是顏色,因為它的顏色非常豐富。它廣泛用于汽車工業(yè),形成輪子和保險杠上的閃亮涂層。

熔點(°C1857   密度(g / cm3)固態(tài)7.19 液體6.9  沸點: 2672.0  熱導率:90.7W/m.K (300K)  粉末                     顆粒


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-熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源、坩堝蒸發(fā);

-

腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;

-

泵:前級干泵,分子泵;

- Load Lock

樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);

-

工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存;

-

襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;






-       襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;

-       保護樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關擋板,達到及時遮擋樣品效果;

以下為蒸發(fā)鍍膜設備的示意圖:

以下是不同真空度 不同鍍膜時間碳紙鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘

真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色



637844882350281266506.jpg


粉末坩堝蒸鍍KT-Z1650CVD技術資料

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa



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